EULITHA, швейцарская компания, предлагающая инновационное литографическое оборудование и услуги для рынков нанотехнологий, фотоники и оптоэлектроники, объявила сегодня о запуске новой линии систем фотолитографии для удовлетворения растущих потребностей клиентов в объемном производстве фотонных устройств. , Системы работают по тому же принципу / технологии литографии смещения талботов (DTL), что и существующая линия Ebleitha PhableR, но основаны на совершенно новой платформе, которая обеспечивает высокопроизводительную автоматическую работу.

Многие новые фотонные устройства, такие как волноводы в стеклах AR / VR, DFB-лазеры, телекоммуникационные решетки или оптические биосенсоры, требуют создания периодических элементов с размерами в диапазоне субмикрометров. Eulitha удовлетворяет эту растущую потребность с помощью собственной технологии DTL, которая обеспечивает недорогую литографическую печать требуемых рисунков. DTL особенно подходит для удовлетворения потребностей индустрии фотоники благодаря своей способности печатать образцы без швов на больших площадях. Запатентованная технология получения изображения без фокусировки обеспечивает равномерную печать на неплоских поверхностях. В отличие от конкурирующей технологии наноимпринтной литографии, DTL является бесконтактным методом, который значительно снижает сложность процесса, дефектность устройства и потерю текучести.

Новая платформа PhableX предлагается с источниками освещения промышленного стандарта, включая источники i-line, KrF (248 нм) и ArF (193 нм), в зависимости от требований разрешения приложения. Размеры элементов от 60 нм до нескольких микрон могут быть напечатаны с использованием тех же самых современных продуктов фоторезиста, разработанных для производства полупроводниковых приборов. Платформа в настоящее время доступна для пластин размером от 100 мм до 200 мм. Фотомаски, разработанные для особых нужд технологии DTL, можно приобрести у основных производителей масок. Платформа имеет автоматическое выравнивание передних и задних накладок и полностью автоматическую работу от кассеты к кассете.

Это представляет большой шаг в общепромышленном принятии нашей революционной технологии нанолитографии. Множество отзывов наших клиентов, которые уже несколько лет используют наши литографические системы PhableR, а также результаты наших собственных исследований и разработок сыграли важную роль в разработке новой платформы. Мы ожидаем, что как наши промышленные клиенты, так и крупные научно-исследовательские учреждения получат выгоду от наличия этих уникальных инструментов. Первые примеры модели PhableX были доставлены выбранным клиентам и получены заказы на дополнительные установки.

Рене Уайльд, директор по продажам, Eulitha

Eulitha AG является дочерней компанией Института Пола Шеррера, Швейцария. Специализируется на разработке литографических технологий для приложений в оптоэлектронике и фотонике. В дополнение к фотолитографическим машинам, она производит и продает нанотекстурированные подложки и шаблоны. PHABLE является зарегистрированным товарным знаком и фирменным знаком запатентованной фотолитографической платформы Eulitha, которая включает в себя инструменты экспонирования и услуги нанесения рисунка на пластину.