Институт Пол Шеррера получил первую в мире 200-миллиметровую фотолитографическую систему PhableR от EULITHA AG

EULITHA, швейцарская стартап-компания, предлагающая инновационное литографическое оборудование и услуги для рынков нанотехнологий, фотоники и оптоэлектроники, объявила сегодня о том, что она представила свою первую систему фотолитографии PhableR, способную формировать 200 мм пластины в Институт Пола Шеррера (PSI) , Швейцария.

В поставляемом инструменте для экспозиции PhableR 200 используется собственная технология литографии Displacement Talbot Lithium, которая обеспечивает надежную печать периодических паттернов с очень высоким разрешением, таких как решетки, необходимые для фазово-контрастного рентгеновского снимка, по низкой цене. Система PSI дополнительно включает в себя несколько пользовательских функций, которые были разработаны для удовлетворения конкретных потребностей исследовательской программы в институте.

PSI – крупнейший научно-исследовательский институт естественных и технических наук в Швейцарии, в котором работают более двух тысяч исследователей и других сотрудников. Институт управляет крупномасштабными исследовательскими объектами, такими как научно-исследовательская лаборатория синхротронов, швейцарский источник света и швейцарский бесплатный электронный лазер, а также чистые помещения для нанообработки.

Д-р. Константин Ефимов, ведущий исследователь, ответственный за приобретение и эксплуатацию системы в институте, сказал: «С помощью этой системы литографии от Eulitha мы сможем создавать периодические структуры с небольшими смолами на больших площадях с высоким соотношением сторон и на гибкие опоры. Это уникальное сочетание возможностей будет необходимо для создания необходимых оптических компонентов для нового поколения медицинских рентгеновских изображений. Мы действительно в восторге от потенциальных вкладов этой системы в наши исследования методов рентгеновской визуализации, которые направлены на то, чтобы диагностировать рак с повышенной чувствительностью на ранних стадиях и с более низкой дозой. При поддержке схемы финансирования ОЯТ-R'Equip система позволит нам укреплять сотрудничество с другими исследовательскими группами в Швейцарии и за рубежом. В дополнение к приложениям для рентгеновской визуализации мы планируем исследовать PhableR 200 в широком спектре применений, таких как фотоника, просветляющие поверхности, спектроскопия, биосенсоры, технология биоресурсов, исследование мембранного белка, мезоскопические системы, плазмоника, метаматериалы, SERS , MALDI, цветные фильтры и поляризаторы, энкодеры, наноструктурированные поверхности с особыми свойствами гидрофобности и др. »

Система, которую мы поставили в PSI, представляет собой значительный шаг в развитии нашей линейки фотолитографических систем PhableR, как мощного инструмента, способного полностью и без швов формировать подложки размером до 200 мм. Это развитие позволит нам обслуживать множество новых промышленных и исследовательских приложений, требующих шаблонирования крупных площадных субстратов. Мы с нетерпением ожидаем сотрудничества с исследователями и инженерами в PSI, чтобы способствовать наиболее эффективному использованию технологии для достижения целей исследований.

Др. Харун Солак, генеральный директор, Eulitha

Система PhableR 200 может выставлять периодические шаблоны, такие как линейные решетки или двухмерные массивы с размером элементов около 100 нм. Запатентованная бесконтактная визуализация технологии обеспечивает равномерную печать на не плоских подложках, часто используемых в фотонных и оптоэлектронных секторах. Eulitha ранее объявила о доставке литографических систем в Университет Лунда в Швеции и в Университет Ванны в Великобритании.

Eulitha AG является побочной компанией Института Пола Шеррера, Швейцария. Он специализируется на разработке литографических технологий для применения в оптоэлектронике и фотонике. Помимо фотолитографических машин для экспонирования, он производит и продает наноструктурированные подложки и шаблоны. PHABLE является зарегистрированным товарным знаком и фирменным наименованием собственной фотолитографической платформы Eulitha, которая включает в себя инструменты экспозиции и услуги парикмахерской.

Source link