XY Пьезо-нанопозиционные ступени с диафрагмой 50 мм х 50 мм

QNP2-100-XYA имеет прозрачную апертуру 50 мм х 50 мм с перемещением в замкнутом контуре до 100 мкм × 100 мкм (разомкнутый контур достигает 120 мкм × 120 мкм).

Серия Aerotech QNP2 серии XY, параллельно-кинематическая, пьезопозиционная система позиционирования сочетают в себе суб-нанометровое разрешение, высокую динамику и отличную геометрическую производительность в компактном, низкопрофильном корпусе. QNP2-100-XYA имеет прозрачную апертуру 50 мм х 50 мм с перемещением в замкнутом контуре до 100 мкм × 100 мкм (разомкнутые контуры до 120 мкм × 120 мкм). Конструкция идеально подходит для оптической микроскопии, сканирующей зондовой микроскопии, рентгеновской трансмиссионной микроскопии и других применений, где требуется двусторонний доступ к части.

Прецизионный дизайн

Пьезопериоды QNP2 используют параллельно-кинематический изгиб и метрологический дизайн, который обеспечивает высочайший уровень многоосевой точности. Оптимизированные по FEA прецизионные изгибы обеспечивают высокую жесткость и длительный срок службы устройства. Высокая жесткость и резонансная частота обеспечивают исключительную пропускную способность процесса и быстрый ответ в замкнутом контуре. Запатентованная конструкция привода минимизирует ошибки рыскания при сохранении метрологической системы, совместимой с Аббе

Все пьезоэпиляторы QNP2 доступны с обратной связью с обратной связью (-C) или с разомкнутым контуром (без обратной связи). Уникальный емкостной сенсорный параллельно-метрологический дизайн непосредственно измеряет выход позиционирующей каретки, позволяющей разрешение 0,15 нм, линейность 0,01% и двунаправленную повторяемость на 1 нм.

Ультраточное управление с опциями

Контроллеры и приводы серии Q от Aerotech предоставляют множество удобных программных опций. Пакеты инструментов Dynamic Controls Toolbox и Motion Designer содержат множество продвинутых, но простых в использовании инструментов, таких как Learning Control, Harmonic Cancellation и Command Shaping, чтобы улучшить ошибки отслеживания и увеличить время от времени до завершения. Архитектура контроллера Aerotech легко обеспечивает высокоскоростное, контролируемое скоординированное движение между пьезокамерами, сервоприводами, степперами и гальвами.

Дополнительная монтажная панель позволяет устанавливать на английский или метрический макет оптические столы, а также имеется сплошная столешница. Пьезопериоды QNP2 также предлагаются в изготовленных на заказ материалах и в вакуумных версиях.

Source link