С дополнительными преимуществами в отношении точности, производительности и автоматизации

Мы с гордостью представляем новый EPBG Plus, последнее поколение очень успешной серии EBPG, которое теперь быстрее, точнее и стабильнее чем когда-либо прежде. Многие мелкие корректировки привели к значительному усовершенствованию продукта: EBPG Plus не только предлагает лучшие в мире технические характеристики. Кроме того, все компоненты, характеристики производительности и их взаимодействие были согласованы таким образом, что общая производительность системы для всей полосы пропускания приложения была поднята на следующий уровень без компромиссов. Новые функции включают:

• Электроника с низким уровнем шума и температурной стабилизацией для большей точности изображения
• Сокращенное время установления ступени для увеличения производительности
• Увеличенное разрешение измерения высоты для лучшего сшивания и наложения
• Новые формы с высоким разрешением для большей точности изображения
• Новая технология многоядерного процессора шаблонов Firebird для более быстрой обработки данных
• Новый юстировочный микроскоп для быстрого и простого рабочего процесса

Производительность, которая имеет значение Играть

Ультра-высокопроизводительная система нанолитографии EBPG Plus предлагает лучшую производительность устройства при высоком выходе обеспечивая при этом самую высокую пропускную способность на рынке. Все это стало возможным благодаря целостному дизайну EBPG Plus, который отвечает различным требованиям к производительности без каких-либо компромиссов.

Безупречное взаимодействие между различными рабочими размерами инструмента гарантирует оптимальные результаты нанолитографии и такие характеристики, как:

• Наложение 5 нм
• Сшивание 8 нм
• Максимальный ток пучка 350 нА
• Дрейф <20 нм / ч (более 8 часов)
• Скорость сцены 60 мм / с

СКАЧАТЬ БРОШЮРУ ПРОДУКТА

Вдобавок к этому EBPG Plus предлагает интуитивно понятный пользовательский интерфейс и высокую степень автоматизации, гибкости и повторяемости, а также самую большую сеть литографии и поддержки в отрасли.