Автор AZoNano 13 мая 2021 г.

Sensofar, технологическая компания, специализирующаяся в области бесконтактной метрологии поверхности, разработала новую технику для характеристики изменения топографии поверхности образца в зависимости от температуры с помощью оптического профилометра S neox 3D и интерферометра Линника в сочетании с Камера Linkam LTS420 с регулируемой температурой. Этот метод был использован для успешного картирования изменений шероховатости и волнистости кремниевых пластин при температурах до 380 ° C.

Оптическая профилометрия – это быстрый, неразрушающий и бесконтактный метод измерения поверхности, который используется для определения морфологии поверхности, высоты ступенек и шероховатости поверхности материалов. Он имеет широкий спектр применения во многих областях исследований, включая анализ текстуры поверхности красок и покрытий, анализ микротрещин и царапин и создание профилей износа для структурированных материалов, включая микроэлектронику, а также определение характеристик текстурированных или тисненых нанометровых материалов. полупроводниковые компоненты, такие как кремниевые пластины.

Исторически было трудно проводить эксперименты по оптической профилометрии с контролируемой температурой из-за проблем с визуализацией, вызванных изменениями сферической аберрации в зависимости от температуры как передней линзы объектива, так и кварцевого окна столика LTS420.

Благодаря использованию новой системы линз интерферометра Линника от Sensofar с оптическим профилометром S neox 3D в сочетании с камерой точного контроля температуры Linkam LTS420 решены проблемы сферической аберрации, что позволяет точно измерять трехмерные топографические профили наноразмерных материалов в широком диапазоне температуры.

Дэвид Паес, специалист по поддержке продаж Sensofar, прокомментировал: « В недавнем эксперименте с использованием новой техники мы смогли наблюдать изменения в топографии кремниевых пластин как они развиваются с температурой от 20 ° C до по 380 ° C . Это критически важная информация для производителей и пользователей кремниевых пластин, чтобы они могли оптимизировать свой процесс, улучшить свойства полупроводников и долговечность пластин. Камера Linkam LTS420 и регулятор температуры T96 являются ключевыми компонентами в нашей экспериментальной установке и позволяют нам увеличивать и регулировать температуру между -195 ° и 420 ° C с точностью до 0,01 ° C . »

Роберт Герни, специалист по приложениям Linkam, добавил: « На протяжении десятилетий мы обеспечивали точный контроль температуры и окружающей среды для широкого спектра методов, от микроскопии до рентгеновского анализа. Это сотрудничество подчеркивает важную роль контроля температуры в разработке инновационных подходов к определению характеристик материалов. Мы очень рады, что можем предложить решение для профилометрии с контролируемой температурой благодаря интерферометру Линника от Sensofar, и мы с нетерпением ждем возможности увидеть, как этот новый метод поможет исследователям во многих областях науки продвигать свои исследования и знания ». [

Оптический профилометр S neox 3D 5-го поколения от компании Sensofar – это самый быстрый сканирующий конфокальный профилометр на рынке. Он прост в использовании и имеет некоторые ключевые преимущества по сравнению с предыдущими моделями. Конструкция моста обеспечивает повышенную стабильность, а в головке датчика используются улучшенные алгоритмы для создания самой быстрой системы на рынке без движущихся частей и, следовательно, с минимальными требованиями к обслуживанию или необходимостью обширной калибровки. Добавление интерферометра Линника и Linkam LTS420 позволяет контролировать температуру от -195 ° C до 420 ° C. Различные объективы для светлого поля совместимы с конфигурацией Linnik, обеспечивая рабочее расстояние до 37 мм и увеличение до 100x для приложений, требующих высокого разрешения по горизонтали.

Linkam LTS420 – это простой в использовании и очень универсальный этап нагрева и замораживания. Этап состоит из элемента с регулируемой температурой большой площади с датчиком, встроенным близко к поверхности, для точных измерений температуры в диапазоне от <-195 ° C до 420 ° C (при использовании с охлаждающим насосом LNP96). Образец легко устанавливается на стандартное предметное стекло микроскопа в прямом контакте с нагревательным элементом и может перемещаться на 15 мм как в X, так и в Y направлениях. Камера для проб является газонепроницаемой и имеет клапаны, позволяющие контролировать состав атмосферы, а также есть опции для датчиков влажности и электрических датчиков.

Источник: https://www.linkam.co.uk/[19459008visible