Семейство миниатюрных столиков для микро- и нанопозиционирования расширяется за счет новых вращающихся столиков RS-40 и линейных столиков M-111, поскольку инженеры уделяли особое внимание выбору материалов, использованию смазочных материалов и покрытий, а также температурам отжига для высоких и условия сверхвысокого вакуума.

Прецизионный миниатюрный вращающийся столик для компактных пространств

Обладая диапазоном вращения 360 градусов и допустимой нагрузкой 20 Н, столик RS-40 V7 может похвастаться высокой угловой скоростью 20 ° / с и минимальным инкрементным перемещением и воспроизводимостью 87 мкрад. Апертура диаметром 20 мм позволяет вращать фильтры и оптику. Компактный размер делает роторный столик RS-40 идеальным для небольших вакуумных камер. Новая ступень RS-40 приводится в действие специальным шаговым двигателем с вакуумным режимом и подходит для уровней вакуума до 10-7 гПа.

Компактный линейный столик и комбинации XY / XYZ

Новые серии вакуумных линейных ступеней 110, M-111 и M-112 обеспечивают диапазон перемещения 5, 15 и 25 мм и подходят для вакуума до 10-6 гПа. Линейные столики также имеют прозрачную апертуру (Ø 10 мм). Миниатюрные линейные каскады приводятся в действие мотор-редуктором постоянного тока с обратной связью со встроенным энкодером и ходовым винтом с компенсацией люфта и обеспечивают субмикрометровое разрешение с минимальным инкрементным перемещением 0,05 мкм и превосходную повторяемость положения до 0,25 мкм.

Технические характеристики, таблицы данных, дополнительная информация

Компактный ротационный столик RS-40 V7 Подходит для вакуума »

M-110 • M-111 • M-112 Компактный линейный столик V6 Подходит для вакуума »

Другие устройства позиционирования для вакуума и сверхвысокого вакуума

PI предоставляет широкий спектр линейных и поворотных столиков, совместимых с вакуумом и сверхвысоким давлением, для приложений нанопозиционирования и микропозиционирования, включая пьезоизгибные столики, решения с пьезодвигателями и даже многоосные системы, такие как параллельные позиционеры с шестью степенями свободы с 6 степенями свободы. требовательные приложения вакуумного движения. Обслуживаемые отрасли включают полупроводники, аэрокосмическую промышленность, оптику и фотонику, прецизионную автоматизацию, науки о жизни и большие научные исследования.

Прочтите статью «Достижения в области прецизионного позиционирования с оптимизацией газовыделения и характеристик движения в условиях сверхвысокого вакуума»

Работа с вами

Системы и компоненты собственной разработки PI позволили клиентам по всему миру повысить свою производительность и технологические преимущества в течение 5 десятилетий. Располагая обширной базой стандартных продуктов для точного перемещения и проверенных методологий, PI может быстро изменить существующие конструкции или предоставить полностью индивидуализированное OEM-решение для точного соответствия требованиям вашего приложения из всего диапазона перемещений от наночастиц размером с кончик пальца. от позиционеров до крупномасштабных столиков с большим диапазоном перемещений, с помощью множества различных приводов и направляющих систем.

Источник: https://www.pi-usa.us/en/[19459005visible