Эпитаксиальная кремниевая пластина со сверхнизкой шероховатостью, изображенная на АСМ для крупных образцов Asylum Research Jupiter XR. Шероховатость (Sa) для этой области сканирования 1 мкм была измерена только при 0,902 Å.

Новые препараты подложек, технологии осаждения тонких пленок и процессы нанесения покрытий создают поверхности со сверхнизкой шероховатостью, которые ниже разрешающей способности измерений традиционных оптических и стилусных профилометрических инструментов. Атомно-силовая микроскопия (АСМ) давно признана полезной для характеристики шероховатости в нанометровом и даже субнанометровом масштабах. АСМ следующего поколения, такие как АСМ большой выборки Asylum Research Jupiter XR, теперь делают эти измерения более простыми, быстрыми и воспроизводимыми.

Новый технический документ компании Asylum Research сравнивает Jupiter XR AFM с другими инструментами измерения шероховатости поверхности и подчеркивает его преимущества. Ряд примеров, взятых из полупроводниковой промышленности, индустрии хранения данных, производства стекла и бумаги, демонстрируют скорость, точность и воспроизводимость Jupiter XR. Читатели узнают, где AFM является предпочтительным инструментом для этих измерений и почему обновление их текущих возможностей AFM может помочь улучшить процессы и повысить производительность.

Jupiter XR AFM имеет полностью адресуемый 200-миллиметровый зажим образца, простое и интуитивно понятное программное управление настройкой системы, включая настройку лазера и детектора, автоматическую оптимизацию параметров изображения, автоматическое создание и анализ многосайтовых объектов и уникальный blueDrive от Asylum Research. Режим постукивания для увеличения срока службы наконечника и повторяемости измерений. Это также самая универсальная АСМ для больших образцов в мире, включающая в себя необычайный набор возможностей и аксессуаров Asylum Research, а также модульную конструкцию, обеспечивающую расширение в будущем. Jupiter XR является идеальной исследовательской платформой для исследовательских сред, высокопроизводительных промышленных приложений и лабораторий анализа сбоев. Независимо от применения, никакие другие АСМ с большим каскадом не могут сравниться с простотой использования, скоростью, производительностью и гибкостью Jupiter.

Для получения дополнительной информации см. Https://afm.oxinst.com/roughness.

.