Мини-столик для нанопозиционирования на основе двигателя с высокодинамической звуковой катушкой и необслуживаемой направляющей с воздушным подшипником

Мини-столик для нанопозиционирования на основе двигателя с высокодинамической звуковой катушкой и необслуживаемой направляющей с воздушным подшипником

Линия продуктов PI для пневматических подшипников снова расширяется. Новый высокопроизводительный компактный столик для нано-позиционирования и линейного выравнивания разработан с двигателем со звуковой катушкой и воздушным подшипником скольжения для обеспечения высокой повторяемости движения с выдающейся точностью.

Изображение предоставлено: Physik Instrumente (PI) GmbH & Co KG

Этот низкопрофильный столик с нанопозиционированием (высотой всего 27 мм (1,1 дюйма)) не требует технического обслуживания и, благодаря не генерирующему частиц механизму и принципу направления, совместим с чистыми помещениями. Он обеспечивает линейный ход без гистерезиса 10 мм (0,4 дюйма) своей движущейся платформы 75×80 мм (≈3×3¼ дюйма), выдерживая при этом грузы весом до 3 кг (6,6 фунта). Направляющая с воздушным подшипником гарантирует прямолинейность 100 нм и плоскостность 0,5 мкм. Высокая подвижность достигается за счет встроенного мотора со звуковой катушкой, который обеспечивает макс. скорость 450 мм / с и ускорение 20 м / с2, большое преимущество в приложениях динамического сканирования и позиционирования. Это маленький и быстрый! Большая гибкость для центровки и метрологических операций по Z достигается за счет дополнительного пневматического противовеса, позволяющего вертикальный монтаж без потери характеристик двигателя. A-142 может работать как автономное устройство нанопозиционирования, но для требований многоосевого движения также доступны комбинации и интеграция в сборки XY и XYZ.

Поля приложений

Высокоточные процессы промышленной автоматизации в таких областях, как испытания и метрология полупроводников, секвенирование генома, биотехнологии, медицинская инженерия, микроскопия высокого разрешения, производство оптики и фотоники.

Дополнительная информация, спецификации, Техническое описание »
Истории применения перемещения пневматического подшипника»

Работаем с вами

Собственные инженерные решения PI позволили клиентам по всему миру повысить свою производительность и технологические преимущества на протяжении пяти десятилетий. Располагая обширной базой проверенных технологий и методологий движения, PI может быстро изменить существующие конструкции или предоставить полностью индивидуальное решение OEM, которое точно соответствует требованиям вашего приложения, от датчиков и пьезопреобразователей до устройств нанофокусировки микроскопов, быстрой фотоники. системы центровки к подсистемам многоосевой автоматизации.

Источник: http://www.pi-usa.us/en/[19459005visible

Source link