Сочетание атомно-силовой микроскопии с интерферометрией в белом свете

( Сувон, Корея, 15 ноября 2021 г. ) Park Systems, ведущий мировой производитель атомных силовых микроскопов, объявила о выпуске Park NX-Hybrid WLI, первой полностью интегрированной системы который сочетает в себе атомно-силовой микроскоп (АСМ) с профилометрией с использованием интерферометра белого света (WLI). Интерферометрия в белом свете (WLI) – это неразрушающий, бесконтактный оптический метод, используемый для создания 2D и 3D моделей поверхностей, которые в настоящее время широко используются для контроля качества производства полупроводников. Park Systems представляет Park NX-Hybrid WLI как мощный инструмент для метрологии полупроводников, который объединяет лучшие технологии AFM и WLI в единую бесшовную систему.

Изображение предоставлено: Park Systems

«Park NX-Hybrid WLI представляет собой полное дополнительное метрологическое решение для полупроводниковых приложений, требующих как сканирования большой площади, так и наномасштабной метрологии», – комментирует д-р Райан Ю, исполнительный вице-президент по развитию бизнеса Park Systems. «Революционный дизайн и бесшовная интеграция WLI и AFM подчеркивают стремление Park предоставлять решения, ориентированные на клиентов, поскольку требования к нанометрии для производителей устройств продолжают расти»

Park AFM в интегрированной системе основан на Park NX-Wafer, ведущей в отрасли автоматизированной системе атомно-силовой микроскопии для полупроводников и связанных с ними устройств, обеспечивающей контроль качества, а также исследования и разработки. Комбинированная система AFM / WLI обеспечивает получение изображений с высокой пропускной способностью на очень большой площади с помощью модуля WLI и метрологию в нанометровом масштабе с разрешением по высоте суб-ангстрема по интересующим областям с использованием AFM. Дефекты структурированной структуры могут быть обнаружены путем сравнения изображений эталонных и целевых участков образца с использованием высокоскоростного «обнаружения горячих точек», метода, обеспечиваемого быстрой локализацией дефектных участков для анализа с помощью АСМ высокого разрешения.

Модуль Park WLI поддерживает режимы интерферометрии белого света (WLI) и интерферометрии с фазовым сдвигом (PSI). Режим PSI включается с помощью моторизованного устройства смены фильтров, и две линзы объектива могут быть автоматически заменены моторизованными линзами и поддерживает увеличение объектива 2,5x, 10x, 20x, 50x и оснащен камерой CMOS 100x.

Park NX-Hybrid WLI представляет собой комплексную автоматизированную метрологическую систему, сочетающую в себе две взаимодополняющие технологии, обеспечивающую значительную экономию затрат по сравнению с двумя отдельными системами.

«В отличие от устаревших автономных систем WLI и AFM, Park NX-Hybrid WLI обеспечивает больше, безупречно, при значительно более низкой стоимости владения, создавая полностью целостный интегрированный инструмент», – комментирует д-р Стефан Кеммер, генеральный директор Park Америка. «С обоими инструментами на одном креплении и питанием от одного EFEM, система создает полностью интегрированные и подлежащие обмену данные, уменьшая« производственную площадь »и увеличивая пропускную способность на большей площади».

Park NX-Hybrid WLI был разработан для использования в приложениях, требующих гораздо более высокого разрешения и точности, превышающих возможности одного только WLI, например, метрология и мониторинг передовой химико-механической полировки (CMP), выпуклость, эрозия и эрозия по краям. (EOE), толщина пленки, высота стойки, структура отверстий и сравнение штампа с штампом. Он также будет полезен в передовых упаковочных приложениях, включая измерения сквозных переходов через кремний (TSV) и измерения перераспределенного слоя (RDL) при измерении микровыступов и обнаружение остатков фоторезиста.

Новый Park NX-Hybrid является частью серии гибридных метрологических продуктов, которые Park Systems планирует предложить в этом году для расширения и улучшения использования атомно-силовой микроскопии в широком спектре промышленных и академических исследовательских приложений.

Park NX-Hybrid WLI Введение | Полностью автоматизированная промышленная система AFM-WLI