Герцан рад объявить о последней версии от Spicer Consulting: системе мониторинга SC28.

Программное обеспечение для мониторинга SC28

Изображение предоставлено: Herzan

SC28 обеспечивает длительный непрерывный мониторинг магнитных полей, вибраций и акустических шумов, а также температуры и влажности в лаборатории и на производстве полупроводников. Эта система специально разработана для мониторинга окружающей среды для электронно-лучевых приборов, включая сканирующие электронные микроскопы (SEM), просвечивающие электронные микроскопы (TEM), инструменты для электронно-лучевой литографии и инструменты для метрологии и контроля на основе SEM.

Что в коробке

В SC28 используются высокопроизводительные датчики и оборудование для мониторинга, чтобы обеспечить четкое и исчерпывающее представление об измеряемой среде.

Программное обеспечение для мониторинга SC28

Изображение предоставлено: Herzan

Система мониторинга: SC28 / SI AC / DC

Датчики: Датчик SC24 / DC + AC и датчик SC11 / AC

Акустический микрофон: Brüel & Kjr 4190 микрофон

Датчики вибрации: Акселерометры Wilcoxon 731A (три)

Датчик температуры / влажности: Датчик SC28 / TH

Уникальные особенности

Программное обеспечение для мониторинга SC28

Изображение предоставлено: Herzan

Специально разработан: Долгосрочный мониторинг окружающей среды для электронно-лучевых приборов

Полный мониторинг окружающей среды: непрерывное измерение магнитных полей, вибрации пола (X, Y и Z), акустических уровней на 2 кГц и температуры / влажности на 1 Гц или ниже

Полностью наглядный: до 14 различных графиков могут отображаться одновременно

Комплексное получение: Собирает данные датчиков и записывает спектры и диаграммы в файлы с отметками даты

Без головы: может работать без открытого пользовательского интерфейса